火工品

作者：任小明

单位：陕西应用物理化学研究所

关键词：换能元;氮化钽;MEMS;发火能量;工艺

开展了一种制备氮化钽换能元的工艺研究，利用射频电源溅射氮化钽薄膜，采用剥离工艺制备氮化钽换能元图形，获得满足完整性、一致性和重复性要求的氮化钽换能元。依据GJB/z377A-94感度试验用兰利法，测得氮化钽换能元发火能量为0.6mJ。

来源：2020年第1期

《火工品》期刊编辑部

查看火工品杂志2020年第1期