火工品

作者：薛 艳

单位：陕西应用物理化学研究所

关键词：安全起爆芯片;MEMS技术; Ni-Cr换能元;性能测试

针对MEMS火工品低能化带来的安全性问题，设计了一种基于MEMS工艺的安全起爆芯片，采用MEMS工艺制作了Ni-Cr换能元层、绝缘层、导线层，一体化集成了含平面开关的安全起爆芯片；通过对形貌、表面粗糙度、厚度等进行表征分析，确定了结构参数，并对安全起爆芯片性能进行了测试。结果表明MEMS平面开关实现了通断转换，可以提高安全起爆芯片的安全性。本研究为MEMS火工品安全性技术提供支撑。

来源：2020年第6期

《火工品》期刊编辑部

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