火工品

作者：任小明

单位：陕西应用物理化学研究所 应用物理化学重点实验室

关键词：换能元;TaN薄膜;桥区参数;发火感度

为了实现TaN薄膜换能元的低能化，设计制作了不同桥膜厚度、不同桥区尺寸、不同桥区形状的TaN薄膜换能元，依据GJB/z 377A-94感度试验用兰利法，对其进行了发火感度测试。结果表明：当桥区尺寸、形状一定时，随着桥膜厚度的增加，换能元的发火电压先减小后增加，当桥膜厚度为0.9μm时，发火电压最小。通过优化桥区尺寸和桥区形状，获得的TaN薄膜换能元最小平均发火电压低于5V。

来源：2021年第1期

《火工品》期刊编辑部

查看火工品杂志2021年第1期