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国内刊号：61-1179/TJ
国际刊号：1003-1480
发布日期:
作者：任小明
单位：陕西应用物理化学研究所
关键词：火工品;TaN换能元;钝感;点火;工艺
为满足钝感起爆/点火的需求，采用氮化钽作为换能元桥区材料，在桥区结构、参数设计的基础上，对剥离、溅射和热处理等关键工艺进行了研究。参照国家军用标准GJB 5309.10-2004，对制作完成的氮化钽桥膜换能元的不发火电流、发火电流进行了测试。结果表明，采用多次间隔溅射和热处理等工艺，实现了氮化钽桥膜换能元桥区的厚膜图形化，并且氮化钽换能元可实现直流3A9W5min不发火、直流5A发火。
来源：2021年第5期
《火工品》期刊编辑部
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