火工品

作者：闫守阳

单位：中北大学

关键词：微桥膜;小型化;低能化;电流密度;温度;能量利用率

为实现MEMS技术加工的微桥膜低能化，设计不同结构和材料的桥膜，仿真研究桥膜电流密度、温度的变化过程；通过研究方形桥区对角线的电热特性曲线，以解决电流与H型微桥膜材料的匹配问题。结果表明：微桥膜两端输入电流为500A时，H型桥膜桥区温度分布最均匀；相比铜微桥膜，金桥膜达到熔点所需的时间短，但是平均升温速率低；铜微桥膜的熔化面积大、分布更均匀。在300~700A输入电流范围内，对于铜、金、铝H型微桥膜，输入电流依次为500A、450A、400A时起爆可以提高它们的能量利用率。

来源：2021年第6期

《火工品》期刊编辑部

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