火工品

作者：李 慧

单位：杭州电子科技大学电子信息学院

关键词：MEMS;薄膜结构;换能元;低能

为了满足MEMS火工品的低能化发火和高能量利用率要求，基于MEMS技术设计并制备了8种不同桥区中心角度的“V”型薄膜换能元，对不同换能元样品进行了结构参数表征和性能测试，并完成了8种换能元安全电流测试和电容放电条件下的发火性能测试。研究表明：在“V”型结构桥区桥膜厚度一定的情况下，通过减小桥区面积、缩短桥区中心宽度以及选择合适的桥区中心角度可实现MEMS火工品的低能化发火；当“V”型桥区中心角度在50°到90°之间时，本研究薄膜换能元最小全发火电压可降低至2.2V/100μF。

来源：2022年第1期

《火工品》期刊编辑部

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