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国内刊号：61-1179/TJ
国际刊号：1003-1480
发布日期:
作者：周 全
单位：西南科技大学
关键词：铜爆炸箔;磁控溅射;电爆炸;衬底温度
基金：中国电子科技集团公司第九研究所揭榜挂帅项目（2022SK-007）
为研究衬底温度对铜爆炸箔微观结构及电爆炸性能的影响，采用磁控溅射在不同衬底温度下制备了铜膜，并采用光刻技术制备了铜爆炸箔。通过X射线衍射仪（XRD）、原子力显微镜（AFM）、四探针电阻率测试仪对铜膜进行了表征，并采用自主搭建的电爆炸测试系统对爆炸箔的电爆炸性能进行了测试。结果表明：随着衬底温度升高，铜膜的内应力和位错密度大幅降低，晶粒尺寸逐渐增大，电阻率先大幅降低后小幅升高；衬底温度为150 ℃时制备的爆炸箔的峰值功率、能量利用率、沉积能量最优。
来源：2022年第6期
《火工品》期刊编辑部
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