火工品

作者：胡腾江

单位：西安交通大学

关键词：MEMS火工品;硅基安保装置;状态反馈

基金：国家自然科学青年基金（No.52105585）

为了反映微安保装置集成在MEMS火工品时的工作状态，提出了一种具备状态反馈功能的硅基安保装置。该安保装置以电热驱动为基本原理，通过电热执行器与平面棘爪机构的组合，实现了对硅隔板运动状态的主动控制。在硅隔板上设计了通光孔，在隔板运动时，通过检测后端光敏电阻阻值的变化，实现了机构运动状态的实时反馈。微安保装置芯片尺寸为8.5mm×8.5mm×0.75 mm，内部集成有0.3mg叠氮化铜，隔断位移达500μm，具备相应的起爆隔爆功能。

来源：2023年第6期

《火工品》期刊编辑部

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